微小氣體流量傳感器

一、產品簡介
FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不量傳感器。

二、產品特點
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高傳感器的零點穩定度高
全量程高穩定性
全量程高精確度和憂良的重復性低功耗，低壓損
響應時間快

三、產品選型

四、技術參數