微小氣體流量計

一、產品概述

MF4000系列氣體質量流量計于2008年首次發布，現已更新升級到最新的第三代。
MF4000系列氣體質量流量計采用本公司專有的第四代MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子技術。與市場上傳統的量熱式流量傳感技術相比，這種獨特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結合防水、防油納米涂層，產品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術還提供了更好的線性度，并使溫度效應大幅降低。
MF4000系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4000工作壓力提高到0.8MPa，測量范圍涵蓋0~50SLPM。MF4000提供多種信號輸出，通過RS485、RS232或|C數字通訊接口可實現遠程數據采集與設置。MF4000具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數。

二、產品特點

三、工作原理

MF4000系列氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統有限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。
該流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩定的溫度場分布。當有氣體流過時，微熱源周邊會形成新的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的溫度變化并轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類的氣體對微熱源周邊形成穩定的溫度場分布所產生的溫度變化不同，所以能測量氣體的質量流量。

四、產品參數